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高精度光学镜面研制 放大图片-高精度光学镜面研制

轻量化镜:空间光学仪器中使用的反射镜通常都具有质量轻、比刚度好的特点。钻铣机械加工法是制造轻量化空间反射镜镜坯的一种应用较为广泛的方法。用金刚石刀具在数控钻床上对玻璃质镜坯进行异形盲孔的加工,以求获得加工精度、效率及轻量化程度更高的镜坯。加工后的镜坯浸入低浓度氢氟酸溶液中进行处理,以消除残余应力和微裂纹层。应用此种工艺加工的一套空间遥感光学仪器主反射镜和扫描镜轻量化程度超过40%,孔的尺寸和位置精度可达±0.02mm,孔间壁厚可薄到3mm左右,抛光后的镜面面形精度达到λ/50(RMS)。

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